Шаховцев Михаил Михайлович бакалавр — сотрудник МАИ Место работы ФГБОУ ВПО «Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана» Должность бакалавр Публикации, документы и материалы Наименование Тип Год Обеспечение однородности оксидной пленки на поверхности монокристаллических кремниевых подложек в процессе их термического оксидирования Статья 2018 Исследование влияния технологических параметров предварительной обработки кремниевых подложек на угол смачивания их поверхности Статья 2018 Редакция проекта с благодарностью принимает сообщения об обнаруженных ошибках, а также любые уточнения, дополнения и предложения.