Исследование влияния технологических параметров предварительной обработки кремниевых подложек на угол смачивания их поверхности

Журнал: Вестник Московского авиационного института
Авторы:  Ковалев / Тищенко / Шаховцев / Горбатовская / Власов
Выпуск № (Вверх):  2018. Т. 25. №3
Файл:  Скачать