Публикации, материалы...
Исследование влияния технологических параметров предварительной обработки кремниевых подложек на угол смачивания их поверхности
Журнал: Вестник Московского авиационного институтаАвторы: Ковалев / Тищенко / Шаховцев / Горбатовская / Власов
Выпуск № (Вверх): 2018. Т. 25. №3