Публикации, материалы...

Обеспечение однородности оксидной пленки на поверхности монокристаллических кремниевых подложек в процессе их термического оксидирования

Журнал: Вестник Московского авиационного института
Авторы:  Ковалев / Тищенко / Антипин / Шаховцев
Выпуск № (Вверх):  2018. Т. 25. № 4