Учебно-научный комплекс для образовательного процесса в области нанотехнологии NanoEducator-6 (комплект из 6 сканирующих зондовых микроскопов)
Учебно-научный комплекс предназначен для преподавания основ нанотехнологии. Позволяет реализовать различные методы измерений туннельной и «полуконтактной» атомно-силовой микроскопий и может использоваться не только в учебных, но и в научных целях при исследованиях в области физики и технологии микро- и наноструктур, материаловедения, катализа, физики и химии полимеров, трибологии, цитологии.
В задачи комплекса входит освоение основ работы в режимах сканирующей зондовой микроскопии, приобретение навыков исследования нанообъектов и наноструктур, проведение зондовой нанолитографии и наноманипуляций.
Измерительная система оборудования имеет специальную конструкцию, в которой учтена необходимость защиты от случайных поломок, встроенная цифровая видеокамера позволяет выбрать интересный участок на поверхности образца и контролировать состояние зонда и процесс его подвода к поверхности. Специальный зондовый датчик может быть восстановлен путем травления, что уменьшает эксплуатационные расходы и позволяет приобретать дополнительные практические навыки пользователю системы.
- Исследования в области физики и технологии микро- и наноструктур, материаловедения, катализа, физики и химии полимеров, трибологии, цитологии
Система сканирования | |
---|---|
Сканирование | образцом |
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | не менее 100 |
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | не менее 10 |
Пошаговое сканирование (Мин. шаг) | 2 Å |
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров в плоскости XY, % | не более 5 |
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров по оси Z, % | не более 5% |
Разрешение | |
Разрешение в плоскости XY, нм | не более 50 |
Разрешение по оси Z, нм | не более 2 |
Максимальное число точек сканирования по X и Y | 1024×1024 |
Нелинейность сканирования в плоскости XY, нм | не более 30 |
Неортогональнасть сканера в плоскости XY | не более 5° |
Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм | не более 500 |
Дрейф в плоскости XY, А/с | не более 5 |
Дрейф по оси Z, А/с |
не более 5 |
АСМ режим, нм | X_Y – 50, вплоть до 10 |
с использованием острой иглы и виброизоляции Z – 3 | |
СТМ режим, нм | X_Y – 10, Z – 3 |
Операционные системы | Mac OS и Windows XP |
Образец | |
Диаметр образца, мм | вплоть до 12 |
Толщина образца, мм | вплоть до 5 |
Возможность подавать напряжение на образец | есть |
Массогабаритные характеристики | |
Габаритные размеры контроллера (длина×глубина×высота), мм | 260×160×360 |
Габаритные размеры измерительной головки (длина×глубина×высота), мм | 160×160×130 |
Масса (в комплекте), кг | не более 8 |
Условия эксплуатации | |
Напряжение питания переменного тока, В | 220(+10/-15%) |
Потребляемая мощность, Вт | не более 60 |
Темепература окружающего воздуха, °С | 20±5 |
Относительная влажность воздуха, % | не более 65±15 |
Атмосферное давление, мм рт.ст | 760±30 |
Дрейф температуры, °С/час | не более 1 |
Амплитуда вибраций в полосе частот 1 — 1000 Гц, мкм | не более 0,5 |
Электронная почта: tehnopark@mai.ru
Адрес: г.Москва, Волоколамское шоссе, д.4