Учебно-научный комплекс для образовательного процесса в области нанотехнологии NanoEducator-6 (комплект из 6 сканирующих зондовых микроскопов)
Учебно-научный комплекс предназначен для преподавания основ нанотехнологии. Позволяет реализовать различные методы измерений туннельной и «полуконтактной» атомно-силовой микроскопий и может использоваться не только в учебных, но и в научных целях при исследованиях в области физики и технологии микро- и наноструктур, материаловедения, катализа, физики и химии полимеров, трибологии, цитологии.
В задачи комплекса входит освоение основ работы в режимах сканирующей зондовой микроскопии, приобретение навыков исследования нанообъектов и наноструктур, проведение зондовой нанолитографии и наноманипуляций.
Измерительная система оборудования имеет специальную конструкцию, в которой учтена необходимость защиты от случайных поломок, встроенная цифровая видеокамера позволяет выбрать интересный участок на поверхности образца и контролировать состояние зонда и процесс его подвода к поверхности. Специальный зондовый датчик может быть восстановлен путем травления, что уменьшает эксплуатационные расходы и позволяет приобретать дополнительные практические навыки пользователю системы.
- Исследования в области физики и технологии микро- и наноструктур, материаловедения, катализа, физики и химии полимеров, трибологии, цитологии
| Система сканирования | |
|---|---|
| Сканирование | образцом |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | не менее 100 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | не менее 10 |
| Пошаговое сканирование (Мин. шаг) | 2 Å |
| Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров в плоскости XY, % | не более 5 |
| Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров по оси Z, % | не более 5% |
| Разрешение | |
| Разрешение в плоскости XY, нм | не более 50 |
| Разрешение по оси Z, нм | не более 2 |
| Максимальное число точек сканирования по X и Y | 1024×1024 |
| Нелинейность сканирования в плоскости XY, нм | не более 30 |
| Неортогональнасть сканера в плоскости XY | не более 5° |
| Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм | не более 500 |
| Дрейф в плоскости XY, А/с | не более 5 |
| Дрейф по оси Z, А/с |
не более 5 |
| АСМ режим, нм | X_Y – 50, вплоть до 10 |
| с использованием острой иглы и виброизоляции Z – 3 | |
| СТМ режим, нм | X_Y – 10, Z – 3 |
| Операционные системы | Mac OS и Windows XP |
| Образец | |
| Диаметр образца, мм | вплоть до 12 |
| Толщина образца, мм | вплоть до 5 |
| Возможность подавать напряжение на образец | есть |
| Массогабаритные характеристики | |
| Габаритные размеры контроллера (длина×глубина×высота), мм | 260×160×360 |
| Габаритные размеры измерительной головки (длина×глубина×высота), мм | 160×160×130 |
| Масса (в комплекте), кг | не более 8 |
| Условия эксплуатации | |
| Напряжение питания переменного тока, В | 220(+10/-15%) |
| Потребляемая мощность, Вт | не более 60 |
| Темепература окружающего воздуха, °С | 20±5 |
| Относительная влажность воздуха, % | не более 65±15 |
| Атмосферное давление, мм рт.ст | 760±30 |
| Дрейф температуры, °С/час | не более 1 |
| Амплитуда вибраций в полосе частот 1 — 1000 Гц, мкм | не более 0,5 |
НИР по исследованию топографии
НИР по исследованию топографии сплавов циркония до и после плазмоэлектролической обработки - материалы докладывались на XVII международном симпозиуме «Динамические и технологические проблемы механики конструкций и сплошных сред» им. А.Г. Горшкова.
Лабораторные работы
Модернизация существующих дисциплин в части лабораторных работ: «Метрология, сертификация, стандартизация», «Метрология», «Автоматизация измерений, контроля и испытаний».