Экспериментальная оценка качества металлизации сквозных отверстий в кремниевых пластинах

Журнал: Вестник Московского авиационного института
Авторы:  Дидык / Жуков / Подгородецкий / Заботин / Голиков
Выпуск № (Вверх):  2017. Т.24. №4
Файл:  Скачать