Структура пленок сплава алюминий-кремний, полученных методом физического магнетронного распыления

Журнал: Вестник Московского авиационного института
Авторы:  Дидык / Голиков / Жуков
Выпуск № (Вверх):  2016. Т.23. №3
Файл:  Скачать