Создание управляющих программ для автоматизации процессов лазерного управляемого термораскалывания полупроводниковых и диэлектрических материалов

Журнал: Вестник Московского авиационного института
Тэги (англ.):  laser, software, laser controlled thermocracking, semiconductor, dielectric, programming environment, computer modeling.
Авторы:  Третьякова / Шевченко
Выпуск № (Вверх):  2011. Т.18. №6