Устройство автоматизированного управления вакуумным технологическим затвором

Журнал: Труды МАИ
Тэги (англ.):  vacuum installation, automated system, vacuum process valve, diagram
Авторы:  Мартынов / Шуневич / Синельников / Житный
Выпуск № (Вверх):  137
Файл:  Скачать