Некоторые вопросы исследования и разработки процесса сращивания структур «кремний на изоляторе»

Журнал: Вестник Московского авиационного института
Тэги (англ.):  bonding technology of structures, aviation MEMS devices.
Авторы:  Тимошенков  / Калугин  / Соколов  / Парфенов
Выпуск № (Вверх):  2012. Т.19. №1